Intel Fab 34迎来第一台EUV光刻机

　　今年 1 月，一台光刻胶显影设备飞越大西洋抵达工厂，完成了英特尔 Fab 34 晶圆厂的第一台设备的安装，该设备将在未来与 EUV 扫描仪一起运行。上周，英特尔在爱尔兰的 Fab 34 完成了其第一台 EUV 光刻机的安装，这是欧洲第一家拥有 EUV 工艺的工厂。

　　据了解，EUV光刻机由ASML制造，运往英特尔位于美国俄亥俄州的基地，然后运往欧洲。目前尚不清楚英特尔为何选择不直接发货到爱尔兰，或许是为了在发货到新工厂之前测试 EUV 光刻机以确保合规性。在英特尔发布的视频中，约有100名ASML工程师来到Fab 34晶圆厂协助安装，英特尔从美国派出工程师对Fab 34晶圆厂的员工进行EUV光刻机使用培训。

　　英特尔尚未公布这款 EUV 光刻机的型号，但以英特尔的财力和未来规划，相信会是最新款之一。英特尔已从 ASML 订购了多台 EUV 光刻机，这是其第一台，英特尔称其为“英特尔 4 制程技术的关键推动者”。ASML 的 EUV 光刻机需要 4 辆卡车运输，然后需要 35 辆卡车运输到 Fab 34。英特尔从去年 12 月开始批量出货 EUV 光刻机，花了几个月的时间才完成出货。

　　英特尔的 Fab 34 晶圆厂于 2019 年开工建设，计划于 2023 年投产。英特尔表示，爱尔兰晶圆厂是其全球晶圆厂扩张计划的一部分，旨在满足全球快速增长的芯片需求，为英特尔未来的发展铺平道路。Intel 4工艺量产，未来将用于生产Meteor Lake、Granite Rapids等芯片。